③液環式真空泵:帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內,當它旋轉時,把液體(通常為水或油)拋向泵殼形成泵殼同心的液環,液環同轉子葉片形成了容積周期變化的幾個小容積,故亦稱旋轉變容真空泵。
④羅茨真空泵:泵內裝有兩個相反方向同步旋轉的雙葉形或多葉形的轉子,轉子間、轉子同泵殼內壁之間均保持一定的間隙。它屬于旋轉變真空泵。機械增壓泵即為這種型式的真空泵。
2、動量傳輸泵
這種泵是依靠高速旋轉的葉片或高速射流,把動量傳輸給氣體或氣體分子,使氣體連續不斷地從泵的入口傳輸到出口。具體可分為下述幾種類型。
⑴分子真空泵:它是利用高速旋轉的轉子把能量傳輸給氣體分子,使之壓縮、排氣的一種真空泵。它有如下幾種型式:
①牽引分子泵:氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量,被送到出口,因此,是一種動量傳輸泵。
②渦輪分子泵:泵內裝有帶槽的圓盤或帶葉片的轉子,它在定子圓盤(或定片)間旋轉。轉子圓周的線速度很高。這種泵通常在分子流狀態下工作。
③復合分子泵:它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯組合起來的一種復合式分子真空泵。
(2)噴射真空泵:它是利用文丘里(Venturi)效應的壓力降產生的高速射流把氣體輸送到出口的一種動量傳輸泵,適于在粘滯流和過渡流狀態下工作。這種泵又可詳細地分成以下幾種:
①液體噴射真空泵:以液體(通常為水)為工作介質的噴射真空泵。
②氣體噴射真空泵:以非可凝性氣體作為工作介質的噴射真空泵。
③蒸氣噴射真空泵:以蒸氣(水、油或汞等蒸氣)作為工作介質的噴射真空泵。(3)擴散泵:以低壓高速蒸氣流(油或汞等蒸氣)作為工作介質的噴射真空泵。氣體分子擴散到蒸氣射流中,被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的,這種泵適于在分子流狀態下工作。可分為:
①自凈化擴散泵:泵液中易揮發的雜質經專門的機械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴散泵。
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